IGBT是功率半导体,制程上不仅是不需要跟随数字半导体的制程,甚至更小的制程对性能并不更友好。后世半导体制程都进入10纳米以内了,很多IGBT的制程仍然只有0.5微米,这你敢信?
而后世中国的半导体产业,同样仍然有湿法蚀刻的一席之地。因为市场上绝大多数的芯片,实际上并不需要最先进的制程。像绝大多数低成本IC、分立器件和微电子机械设备,仍然还是采用湿法蚀刻的。
湿法刻蚀虽然做不了精细活,但自己也是有优点的。比如说特定的腐蚀剂可以起到专门腐蚀某种材料的作用,只腐蚀材料而不伤害光刻胶、不伤害下层已经形成的结构,这种选择性刻蚀的特性,让它在粗制程下安全性更好,确保不会损伤衬底。
这几年在新科的持续投入下,国内对湿法蚀刻技术已经吃的差不多了,也因此积累了超过业界水平很多的数据资料。
正如钟大华所说,如果要走湿法蚀刻的路线,那新科还真是得天独厚。
王中军最后又看了一眼手上的资料,重重的点了点头。
“行,你等着,我去跟倪院长汇报一下。”
……
嘎吱一声,一辆军车在半导体所大楼前的广场上停了下来,它的后面跟着的是一连串的大客车、小轿车,甚至是吉普车。
“下车,整队!”
一群战士从军卡的后面跳了下来,迅速的排成了整齐的队伍,一个中队长这才转头向王中军跑了过去。
“是王中军同志吗,我是武警支队三中队的,
第八百九十五章 湿法蚀刻(4/6)