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帝国重器

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第八百九十五章 湿法蚀刻
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   IGBT是功率半导体,制程上不仅是不需要跟随数字半导体的制程,甚至更小的制程对性能并不更友好。后世半导体制程都进入10纳米以内了,很多IGBT的制程仍然只有0.5微米,这你敢信?

    而后世中国的半导体产业,同样仍然有湿法蚀刻的一席之地。因为市场上绝大多数的芯片,实际上并不需要最先进的制程。像绝大多数低成本IC、分立器件和微电子机械设备,仍然还是采用湿法蚀刻的。

    湿法刻蚀虽然做不了精细活,但自己也是有优点的。比如说特定的腐蚀剂可以起到专门腐蚀某种材料的作用,只腐蚀材料而不伤害光刻胶、不伤害下层已经形成的结构,这种选择性刻蚀的特性,让它在粗制程下安全性更好,确保不会损伤衬底。

    这几年在新科的持续投入下,国内对湿法蚀刻技术已经吃的差不多了,也因此积累了超过业界水平很多的数据资料。

    正如钟大华所说,如果要走湿法蚀刻的路线,那新科还真是得天独厚。

    王中军最后又看了一眼手上的资料,重重的点了点头。

    “行,你等着,我去跟倪院长汇报一下。”

    ……

    嘎吱一声,一辆军车在半导体所大楼前的广场上停了下来,它的后面跟着的是一连串的大客车、小轿车,甚至是吉普车。

    “下车,整队!”

    一群战士从军卡的后面跳了下来,迅速的排成了整齐的队伍,一个中队长这才转头向王中军跑了过去。

    “是王中军同志吗,我是武警支队三中队的,

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