中村修二改进氮化镓的生长技术,关键在于两点。其一是采用两段法生长氮化镓,用550度生长的低温氮化镓层,代替了氮化铝晶体层作为缓冲层,解决了晶格失配的问题。其二则是在生成氮化镓的化学沉积过程中,在主气流的垂直方向吹入氮气和氢气的保护气体,也就是后来大名鼎鼎的双气流MOCVD技术。
凭着这两点改进,中村修二将蓝光LED从科学玩具彻底变成了改变人类生活的伟大发明。
LED氮化镓外延片的制造,难点便是双气流MOCVD的开发。但是多亏了如今的中美蜜月期,打死美国人都不卖的CVD设备,在胡文海晶圆厂项目的掩护下,也可以堂而皇之的进入中国了。
LED照明芯片的低设计要求、低光刻工艺和取巧的解决思路,简直就是为新科晶圆厂量身定制的项目。
这本来是胡文海打算过几年,新科晶圆厂设备老化跟不上主流水平之后,为设备淘汰准备的去处。谁想到,白石的光电研究所竟然三下五除二的这么快就拿出了成果。这其中固然有美国应用材料公司出售的高品质CVD设备的原因,更多的则是胡文海低估了此时国内的技术研发能力。
氮化镓外延片的两个关键技术,两段法的难度在于材料选择的思路和温度控制。不过胡总直接把具体数据告诉了白石,当然是一试一个准。
另一个则是将CVD改造成双气流MOCVD的要求,这个技术或许难度高了一些,但说到底不过是工程改造的问题,而不是什么高难度的技术研发。
工业品的成熟设计拿不
第三百八十六章 蓝光(6/12)