往后的几个月，陈耀一边培养人才，一边指导团队完成其余零部件的研发。
有他的指导，微观精龙的队员进步很快，日后从这个部队出去的人，都是值得骄傲的。
速度很快，一个接着一个的好消息传来。
光刻机光源技术取得重大突破，打破米国的技术壁垒，研发出了世界最先进的极紫外光。
在一个纳米大小的硅片上刻字，强大稳定的激光至关重要，这个技术一直被米国的cymer公司垄断。
陈耀率领团队研发出的光源，波长短，体积小，功率大并且稳定，完全可以用作5纳米芯片的制造。
技术不断的突破，带来了是一波又一波的快感！
随后的一个月，传感器技术取得关键性突破。
光刻机的内部对于温度湿度的环境要求非常高，机器内部的温度变化要控制在千分之五度。
超出误差就会影响光刻机的对焦精准度，哪怕出现一丝一毫的误差，做出来的芯片就是失败的。
这样的高精度，简直极尽变态。
一台光刻机里边会内置两百多个高精度传感器，用来监测机器内部的温湿度还有空气压力等等的数据。
为了让机器内部的温度变化控制在千分之五度，要做一套非常先进的冷却散热系统。
这要求还不是最变态的，最变态的是什么？
光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。
两者必须始终同步，误差在2纳米以下。
两个工作台由静到动
第76章 技术不断突破，一波又一波的快感(2/5)